低溫等離子體技能在廢氣處理中的使用隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)發(fā)生的揮發(fā)性有機(jī)廢氣也日漸增多，這些廢氣不只會在大氣中逗留較長的時(shí)刻，還會分散和漂移到較遠(yuǎn)的當(dāng)?shù)?，給環(huán)境帶來嚴(yán)重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康發(fā)生極大的損害；別的工業(yè)煙氣的無控制排放使全球性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(首要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物) 的損害引起了各國的重視。因?yàn)榇髿馐芪廴径峄?，?dǎo)致了生態(tài)環(huán)境的破壞，嚴(yán)重災(zāi)禍頻頻發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因而選擇一種經(jīng)濟(jì)、可行性強(qiáng)的處理辦法勢在必行。

　　降解揮發(fā)性有機(jī)污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理辦法如吸收、吸附、冷凝和焚燒等，關(guān)于低濃度的VOCs很難實(shí)現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑簡單失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs能夠不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。但因?yàn)榈入x子體是一門包括放電物理學(xué)、放電化學(xué)、化學(xué)反響工程學(xué)及真空技能等基礎(chǔ)學(xué)科之上的交叉學(xué)科。因而, 目前能老練的把握該技能的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技能處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技能。
　　等離子有機(jī)廢氣凈化器工作原理是采用高壓發(fā)生器構(gòu)成低溫等離子體，在均勻能量約5eV的大量電子效果下，使經(jīng)過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機(jī)廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。
　　在處理過程中，當(dāng)有機(jī)氣體進(jìn)入冷離子體反響室時(shí)，氣體被均勻分配到等離子反響室（PRC）。反響室分成149根六邊形管子，每根管子的中央有一根冠狀電線，與反響室獨(dú)立隔開。經(jīng)過高壓線對反響室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁發(fā)生放電現(xiàn)象。
　　一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相碰擊，發(fā)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說的急進(jìn)和負(fù)荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功用，該裝置能夠除塵。
　　同時(shí)注入環(huán)境或者二級氣體來優(yōu)化反響室的濕度和溫度掛號，與此同時(shí)參加離子來改善反響室內(nèi)的反響。這種冷離子體處理辦法使有機(jī)氣體在低溫下進(jìn)行“氧化”。
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